先锋半导体案例获省级赛事优秀奖

日前，第三届江苏企业（研发机构）创新大赛决赛在苏州落下帷幕，靖江先锋半导体科技有限公司经过层层选拔最终入围决赛，并成功获得大赛优秀奖。

比赛中，靖江先锋半导体以“芯片加工设备部件晶圆加热器的国产化之路”为主题进行案例路演。近年来，先锋半导体率先完成了晶圆加热器的国产化研发，晶圆加热器的关键指标均匀性可以满足客户更高要求，相关产品达到国际领先水平，已广泛运用在国内主流半导体企业，而价格只有国际市场的1/3，大力推动了半导体关键零件国产化的进度。目前，该产品已申请8项相关发明专利，5项已经授权。先锋半导体研发的等离子刻蚀机双温控加热器获得江苏省科学技术厅颁发的高新技术产品认定证书。加热器作为“5nm芯片工艺刻蚀机核心部件”核心组件的研发项目先后获得省级战略性新兴产业发展专项资金项目立项、省科技成果转化资金项目立项，累计获得资助资金近4000万元。

本届大赛由省科学技术厅、省推进企业研发机构建设工作联席会议办公室指导，由省科学技术情报研究所、省企业研发机构促进会主办。

来源： 《靖江企业家》2023第1期